用藍(lán)膜或UV膜(mó)將晶圓與FRAME固定在一起的設備。
半主動晶圓貼膜機由CHUCK TABLE , MOUNTING , FRAME CUTTER , WIND&REWIND,COVER , ELECTRICAL CONTROL SYSTEM等幾.
部分組(zǔ)成。設備有以下幾個特點:
一、直線切開刀位置能夠依據不同的FRAME進行主(zhǔ)動改換,這樣能夠有效的省膜。每次直(zhí)線切開後(hòu),後麵的(de)膜由真空吸(xī)盤,吸起。
二、WAFER CHUCK與FRAME CHUCK是分離式的。WAFER CHUCK能夠上(shàng)下調理,這樣能夠合理地處理不同厚度的WAFER,全體的(de)CHUCKTABLE還有浮動,這樣貼膜時分,對WAFER有維護作(zuò)用.

三、貼膜組織中,MOUNTING滾輪是 用汽缸來操控的,對汽缸力的大小能夠人為進行調理(lǐ),這樣貼膜力的大小,能夠依據客戶產品要求確認.
四、機(jī)器上氣動元件采用(yòng)SMC或KOGANEL品牌.保證其質量及使用壽命.機器上機械方麵的外購件以優質品牌知名產品(pǐn)為主
五、旋轉切開(kāi)刀(dāo)在(zài)6.8寸轉換時,方便另外切開易於(yú)操作,同時(shí)切開安穩.
六. 上料組織中,膜的(de)裝(zhuāng)入與卸下,比較方便,隻要旋幾下張緊旋扭,便(biàn)能夠實現上下(xià)料的操作同時料桶上有刻線,便於膜裝入後(hòu),位置的確(què)認.
七、本(běn)設備是TABLE移動,產品放上TABLE後, TABLE在伺服馬達的驅動下移進到作業位置後,貼膜滾輪將膜壓下(壓到FRAME上) , TABLE再移動出來,這樣膜主(zhǔ)動被貼在(zài)產品上。
八、台灣ELT科技是全球先進製程設備製造商,其中矽片(piàn)真空(kōng)壓膜機晶圓貼膜(mó)機是8寸/12寸晶圓貼合專用設備,填充率高,無氣泡,高深(shēn)寬比,全主(zhǔ)動調理溫度壓力,是晶片製程後期的高端設備(bèi)。
產品特色加熱/真空和壓力層(céng)壓,高填充率,8 "/ 12”使用,內部主動切開係統,TTV可操控在2um之內,均勻度> 98%
產品應用
Flip Chip、FOWLP、3DIC..
適(shì)用(yòng)於不平整的表麵(miàn)描摹
PR / PI薄(báo)膜
BG / DAF或NCF